深圳新聞網(wǎng)2024年10月17日訊（深圳特區(qū)報記者 熊子恒 鄒媛）比小拇指指甲蓋還小的碳化硅芯片成為新能源汽車的控制大腦；全自動化設(shè)備在密閉空間中完成晶圓的分選、傳輸與測試……記者在16日開幕的首屆灣區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會上看到，來自全球各地的知名半導體芯片企業(yè)“大秀絕活”，展示最新設(shè)備與技術(shù)成果。

晶圓機器人完成生產(chǎn)流程自動化

“中國半導體產(chǎn)業(yè)有廣闊的市場空間，我們是第一次來深圳參展，展出的全自動晶圓包裝拆包機吸引了不少關(guān)注。通過參加灣芯展，我們與更多客戶建立了聯(lián)系，也拓展了很多合作機會�！币晃粊碜择R來西亞的晶圓自動化設(shè)備廠商負責人接受記者采訪時表示。

晶圓傳輸設(shè)備廣泛應用于芯片制造的多個工藝環(huán)節(jié)。“晶圓傳輸設(shè)備的核心部件是晶圓機器人，芯片的生產(chǎn)對操作精度和潔凈度都有很高的要求，我們在晶圓傳輸技術(shù)、標準機械界面技術(shù)、光罩傳送自動化系統(tǒng)等領(lǐng)域積累了核心優(yōu)勢，可以為半導體芯片產(chǎn)制造商提供定制化服務。”大族富創(chuàng)得一位參展的市場銷售人員說。

在展會現(xiàn)場，前海晶云（深圳）存儲技術(shù)有限公司展示了DRAM存儲芯片的檢測設(shè)備。前海晶云運營部總監(jiān)朱亞表示，DRAM與電腦、手機的CPU直接交換數(shù)據(jù)，也就是俗稱的“內(nèi)存”。近年來，國內(nèi)企業(yè)在存儲半導體技術(shù)方面發(fā)展迅速。前海晶云的核心能力就在于存儲半導體測試設(shè)備及先進封裝所需測試設(shè)備的研發(fā)與制造。憑借著在測試領(lǐng)域長期積累的技術(shù)與經(jīng)驗，該公司的設(shè)備可以滿足存儲芯片廠商在不同使用場景下的測試需求，為封裝良率提供保障。

“粵港澳大灣區(qū)已經(jīng)形成完整半導體上下游產(chǎn)業(yè)體系，產(chǎn)業(yè)鏈配套完整齊備，深圳創(chuàng)新環(huán)境為前海晶云實現(xiàn)自主研發(fā)與制造提供了有利支持。生產(chǎn)存儲半導體測試設(shè)備所需的零部件都可以在大灣區(qū)內(nèi)找到供應商，測試服務在大灣區(qū)有著廣闊的市場需求�！敝靵喺f。

自主研發(fā)為產(chǎn)業(yè)化應用賦能

展會上，深企方正微電子正式發(fā)布了車規(guī)級碳化硅MOS1200V全系產(chǎn)品。記者在該公司展臺前看到，其不同規(guī)格的芯片已經(jīng)應用于汽車動力總成系統(tǒng)、車載空調(diào)系統(tǒng)、OBC（車載充電器）系統(tǒng)等不同設(shè)備場景。

方正微電子技術(shù)支持人員周理超表示，新能源汽車是碳化硅功率半導體最大的應用場景，基于碳化硅技術(shù)的解決方案在尺寸、重量、功率密度和效率等性能方面均優(yōu)于硅基方案，將助力汽車能量管理及續(xù)航提升�！肮�司已經(jīng)實現(xiàn)了車規(guī)級碳化硅芯片量產(chǎn)，在芯片的設(shè)計與制造上均實現(xiàn)了獨立自主，我們將聚焦碳化硅與氮化鎵第三代半導體技術(shù)，繼續(xù)在集成電路的研發(fā)上發(fā)力，提供高質(zhì)量高性能的電能轉(zhuǎn)化芯片產(chǎn)品，促進產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展�！彼�說。

在碳化硅技術(shù)這條賽道中，越來越多的深圳企業(yè)加入其中。至信微電子是一家以碳化硅芯片設(shè)計為主業(yè)的初創(chuàng)公司。該公司銷售經(jīng)理霞金谷表示，碳化硅有著耐高壓的物理特性，其作為新一代半導體技術(shù)在工業(yè)級的應用場景中有明顯優(yōu)勢，目前該公司設(shè)計的芯片已在光伏儲能設(shè)備中展開應用。

借助此次博覽會，設(shè)備廠商與芯片制造商的最新技術(shù)在交流中碰撞出新的火花。巨大的市場需求與技術(shù)的持續(xù)積累進一步打開產(chǎn)業(yè)發(fā)展空間。未來，憑借自主研發(fā)，以及良好的產(chǎn)業(yè)配套和營商環(huán)境，深圳企業(yè)有望在全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈中占據(jù)更加重要的地位。